[7p-C11-1~21] 17.3 層状物質

[7p-C11-3] ホウ素添加グラファイト状窒化炭素薄膜の化学気相堆積

小坂 舞人¹、〇浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大工、2.信州大カーボン研)

キーワード：グラファイト状窒化炭素、窒化炭化ホウ素

本報告では、グラファイト状窒化炭素(g-C₃N₄)へのB添加によるh-BCN薄膜の実現の可能性を化学気相堆積法により検討した。g-C₃N₄およびBの前駆体としてメラミンおよびアンモニアボランをそれぞれ用いた。XPSスペクトルのB1s信号から、h-BNやh-BCNと同様なB-N結合が見られた。B添加量によらずN組成の大きな変化はなかったが、B添加量の増加によりB組成の増加およびC組成の減少がそれぞれ見られ、BがCに置換していることを示唆した。