[7p-C16-1~18] 17.2 Graphene

[7p-C16-17] In-situ observation of effect of oxygen annealing on nucleation in CVD graphene growth

〇Takanobu Taira¹, Seiji Obata², Koichiro Saiki^1,2 (1.Sch. of Sci., The Univ. of Tokyo, 2.Grad. Sch. of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo)

Keywords:graphene, CVD, oxygen annealing

大面積の単結晶グラフェンの作製を目的とした、Cu基板上のCVDではグラフェン核密度の低減が必要であり、酸素アニールはそのための効果的な前処理手法であると報告されている。本研究では、グラフェン成長に加えて酸素アニール過程を熱放射光学顕微法でin-situ観察し、核発生に与える影響を評価した。結果、熱放射像において酸素アニール中に輝点が大量に発生し、一部の輝点からの核発生が観察された。これらの相関について議論する。