16:45 〜 17:00
[7p-C17-12] EFG成長したβ-Ga2O3結晶中の欠陥評価(2) - 板状のナノボイドおよび双晶 -
キーワード:酸化ガリウム、ボイド、双晶
EFG法により成長したβ-Ga2O3結晶中の板状のナノボイドおよび双晶をエッチング、SEM、およびTEMにより評価した結果について報告する。まず、(010)面上に形成されたエッチピットの中心部にSEMで深い溝が観察された。その溝は、TEMにより板状のナノボイドであることを明らかにした。また、双晶に関しては、TEMにより、双晶境界が(100)面で、リボン状の双晶ラメラも形成されていることを明らかにした。これらの結果に基づいて、欠陥の形成機構について議論する。