16:00 〜 16:15
△ [7p-C17-9] 分子線エピタキシー法によるGa2O3結晶成長の熱力学解析
キーワード:酸化ガリウム、結晶成長、熱力学解析
MBE法による酸化ガリウム成長について、熱力学解析を行ったので報告する。
一般セッション(口頭講演)
21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
16:00 〜 16:15
キーワード:酸化ガリウム、結晶成長、熱力学解析