[7p-C17-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [7p-C17-9] 分子線エピタキシー法によるGa₂O₃結晶成長の熱力学解析

〇佐和田 陽平¹、上田 菜月²、小西 敬太¹、熊谷 義直^1,3 (1.東京農工大院工、2.東京農工大工、3.東京農工大 GIR)

キーワード：酸化ガリウム、結晶成長、熱力学解析

MBE法による酸化ガリウム成長について、熱力学解析を行ったので報告する。