[7p-C19-1~10] マルチスケールプロセスへの挑戦～ドライかウェットかそれとも…～

△ [7p-C19-8] 無電解メッキ法で作製した微細配線の電気特性

〇日恵野 敦¹、中西 務¹、田中 裕介¹ (1.東芝)

キーワード：無電解めっき、微細パターン、ウェットプロセス