[7p-C23-1~22] 6.4 薄膜新材料

[7p-C23-10] TiO₂-VO₂系エピタキシャル成長膜のスピノーダル分解にc 軸歪みが与える影響

〇吉井 文哉¹、松浦 由佳¹、壽賀 友貴¹、脇田 高徳²、寺嶋 健成²、横谷 尚睦²、村岡 祐治² (1.岡山大院自然、2.岡山大基礎研)

キーワード：スピノーダル分解、垂直型多層膜、格子歪