[7p-C23-1~22] 6.4 Thin films and New materials

[7p-C23-9] Evaluation of slow traps in MoS₂ MOS interface

〇Masashi Yamashita¹, Shinichi Takagi¹, Mitsuru Takenaka¹ (1.U.Tokyo)

Keywords:MoS2, slow trap, MOS

二硫化モリブデンMOS界面に存在するスロートラップの定量評価を行った。