[7p-C23-1~22] 6.4 薄膜新材料

[7p-C23-9] 二硫化モリブデン MOS界面におけるスロートラップ評価

〇山下 真史¹、高木 信一¹、竹中 充¹ (1.東大院工)

キーワード：二硫化モリブデン、スロートラップ、MOS

二硫化モリブデンMOS界面に存在するスロートラップの定量評価を行った。