[7p-C24-1~20] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[7p-C24-20] 赤外線ボロメータ素子用Ge/Si/Ge障壁構造でのGe層伝導型のTCR への影響

〇西山 伸平¹、宝田 隼¹、古川 昭雄¹ (1.東理大理工)

キーワード：赤外線センサ