[7p-PA1-1~11] 3.11 フォトニック構造・現象

[7p-PA1-10] Q値100万を超えるシリコンナノ共振器へのナノ材料付加 －前処理プロセスの影響評価－

〇(M1)伊藤 隆浩¹、芦田 紘平¹、木下 圭²、守谷 頼²、町田 友樹^2,3、岡野 誠⁴、山田 浩治⁴、高橋 和¹ (1.大阪府大院工、2.東大生産研、3.CREST-JST、4.産総研)

キーワード：ナノ共振器、ナノ材料