[7p-PA4-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [7p-PA4-8] 反応性プラズマ中ナノ粒子とプラズマの相互作用ゆらぎの起因解明

〇森 研人¹、周 韌¹、大友 洋¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九州大学)

キーワード：プラズマプロセス、プラズマ揺動、ナノ粒子