[7p-PA4-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [7p-PA4-9] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの相関関係解析

〇周 靭¹、森 研人¹、大友 洋¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九州大学)

キーワード：プラズマプロセス、プラズマ揺動、エンベロープ解析