2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[7p-PA9-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2017年9月7日(木) 16:00 〜 18:00 PA9 (国際センター1F)

16:00 〜 18:00

[7p-PA9-2] 低温分解Sn原料Tetra (isopropyl) tinを用いたMOCVD法によるGe1-xSnx膜成長

村上 達海1、須田 耕平1、吉岡 和俊1、高橋 祐樹1、小孫 翔太1、澤本 直美1、町田 英明2、大下 祥雄3、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.気相成長(株)、3.豊田工大)

キーワード:ゲルマニウムスズ、MOCVD