[7p-PB2-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

[7p-PB2-9] 時間分解SNDMの開発と局所欠陥評価への応用

〇山岸 裕史¹、長 康雄¹ (1.東北大)

キーワード：時間分解顕微鏡、界面準位、欠陥評価

走査型プローブ顕微鏡を応用した時間分解物性計測は、ナノスケールの空間分解能で観察対象のダイナミクスの詳細な解析を可能にすると期待される。走査トンネル顕微鏡や静電気力顕微鏡、ケルビンプローブ原子間力顕微鏡を用いた時間分解計測法がこれまでに開発されているが、今回我々は静電容量変化を時間分解計測する顕微鏡（時間分解SNDM）を開発し、さらに半導体/絶縁膜界面に分布する欠陥準位の評価に応用したので報告する。