[7p-PB6-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[7p-PB6-3] Si単結晶中のフレンケルペア形成過程に関する第一原理解析

〇福田 大晃¹、末岡 浩治² (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：Si、フレンケルペア、点欠陥