[7p-S43-1~17] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[7p-S43-11] NbN薄膜における抵抗率の膜厚依存性

〇榊原 啓人¹、佐野 京佑¹、田中 雅光¹、赤池 宏之²、藤巻 朗¹ (1.名大院工、2.大同大工)

キーワード：超伝導、薄膜、窒化ニオブ