[7p-S43-1~17] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[7p-S43-6] IBAD-MgO基板作製に向けたMOD法による金属基板表面の平坦化

〇敷田 達哉¹、ジャー アロク¹、堀出 朋哉¹、松本 要¹ (1.九工大工)

キーワード：MOD法