[7p-S45-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [7p-S45-11] フェムト秒レーザー加工によるシリコンフォトニック結晶ナノ共振器の光学特性制御

〇(M2)芦田 紘平¹、挾間 優治^2,3、秋山 英文^2,3、高橋 和¹ (1.大阪府大院工、2.東京大学物性研、3.産総研 OPERANDO-OIL)

キーワード：フェムト秒レーザー、フォトニック結晶、ナノ共振器

フォトニック結晶ナノ共振器は，様々な応用研究がなされている．産業応用に向け我々の研究グループでは， CMOS互換プロセスでのナノ共振器大量作製に成功しているが，その光学特性が設計値からばらつくことも分かっている．加工精度の向上でばらつきを解消できるか不明であり，ポストプロセス手法の開発が重要である．今回我々は，レーザー加工技術を用いて共振器構造を局所的に変化させ，光学特性制御を試みたので報告する．