[7p-S45-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [7p-S45-13] 数サイクルレーザーパルスによるDLC薄膜表面のナノ構造生成過程

〇(M2)二階堂 誓哉¹、宮地 悟代¹ (1.農工大工)

キーワード：フェムト秒レーザープロセス、表面プラズモンポラリトン、数サイクルレーザーパルス

数サイクルレーザーパルスは、発振器の出力でも高いピークパワーを有するため、DLC薄膜表面にナノ周期構造を生成できる。本研究では、パルス幅が7fsと70fsのレーザーを使用し、ナノ周期構造生成のピークパワー密度I依存性を調べた。その結果、7fsレーザーでは明瞭なナノ周期構造が生成された。これは、Iが高いほど表面プラズモンと近接場によるアブレーションが支配的に誘起され、ナノ周期構造が生成されることを明確に示している。