2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[7p-S45-1~14] 3.7 レーザープロセシング

2017年9月7日(木) 13:15 〜 17:30 S45 (第6会議室)

坂倉 政明(京大)、奈良崎 愛子(産総研)

17:00 〜 17:15

[7p-S45-13] 数サイクルレーザーパルスによるDLC薄膜表面のナノ構造生成過程

〇(M2)二階堂 誓哉1、宮地 悟代1 (1.農工大工)

キーワード:フェムト秒レーザープロセス、表面プラズモンポラリトン、数サイクルレーザーパルス

数サイクルレーザーパルスは、発振器の出力でも高いピークパワーを有するため、DLC薄膜表面にナノ周期構造を生成できる。本研究では、パルス幅が7fsと70fsのレーザーを使用し、ナノ周期構造生成のピークパワー密度I依存性を調べた。その結果、7fsレーザーでは明瞭なナノ周期構造が生成された。これは、Iが高いほど表面プラズモンと近接場によるアブレーションが支配的に誘起され、ナノ周期構造が生成されることを明確に示している。