[7p-S45-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [7p-S45-7] 強く集光したベクトルビームによるレーザー微細穴あけ加工

〇松坂 修吾¹、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：ベクトルビーム、レーザー加工、偏光

現在我々は、高NAの対物レンズを用いたレーザー微細加工におけるベクトルビームの効果について研究を進めている。本発表では、集光レンズのNAを変化させた場合のレーザー穴あけ加工における加工速度の観点から実験的に検証を行った結果を報告する。特に方位偏光ビームにおいては、高NAレンズを用いた深穴加工において極めて高い加工速度が得られることがわかった。