[7p-S45-1~14] 3.7 Laser processing

△ [7p-S45-8] Fabrication of polyimide-based metal fine periodic structure by femtosecond laser induced photoreduction

〇(DC)Seiya Toriyama¹, Vygantas Mizeikis¹, Atsushi Ono¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:femtosecond laser, polyimide, surface plasmon

本研究目的はフェムト秒レーザー光還元法による金属微細周期構造の作製及び作製した金属ナノ構造のフレキシブル光電子デバイスへの展開である．我々はフェムト秒レーザー光還元法によりポリイミド内に直接金属微細周期構造を作製する手法を世界で初めて開発した．銀イオンを含有したポリイミドベースの光還元剤にフェムト秒レーザーを集光照射し，線幅140 nmの回折限界を超えた微細銀細線の作製に成功した．