[7p-S45-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [7p-S45-9] Cu₂Oナノ粒子を用いたフェムト秒レーザ微細パターニング

〇(M2)近藤 幸成¹、溝尻 瑞枝¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1.名大工)

キーワード：フェムト秒レーザ、2光子吸収、微細加工

Cu微細構造を形成するために，近赤外フェムト秒パルスに対して透過率が比較的高く，2光子吸収特性を示す可能性のあるCu₂Oナノ粒子に着目し，その吸収特性と描画特性を評価した．ポリオール法により作製したCu₂Oナノ粒子薄膜は，2光子吸収特性を持つことがZ-scan法により示された．FE-SEM像からレーザ描画線幅がスポット径1.3 µmと同程度となること，XRD解析からCu₂Oナノ粒子が還元されCuパターンが形成されたことが分かった．