2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[8a-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2017年9月8日(金) 09:00 〜 11:45 A411 (411)

蓮沼 隆(筑波大)

11:15 〜 11:30

[8a-A411-9] 界面ナノ構造を利用したGe/Si界面へのMnδドーピング

村田 晃一1,2、〇三木 一司1,2,5、Kirkham Christopher1,2,3、坪松 悟史1,2、金澤 孝1,2、新田 清文4、寺田 靖子4、宇留賀 朋哉4、日塔 光一1、David R. Bowler1,3 (1.物材機構、2.筑波大、3.LCN-UCL、4.JASRI、5.兵庫県立大)

キーワード:ドーピング、磁性不純物、XAFS

ナノ構造を使ったGe/Siヘテロ界面へのMnドーピングの構造解析について報告する。