[8a-A414-1~8] 13.9 Optical properties and light-emitting devices

[8a-A414-8] Structure analysis and optical characterization of Er₂O₃/Y₂O₃ superlattices

〇Hiroo Omi^1,2, Masaya Hiraishi^1,3, Takehiko Tawara^1,2,3, Hideki Yamamoto¹ (1.NTT BRL, 2.NTT NPC, 3.Tokyo Univ. Sci)

Keywords:Erbium, MBE

前回我々は、Si基板上にエピタキシャル成長したEr₂O₃膜からの発光を増強させることを目的としてEr₂O₃(格子定数: a=10.548Å)とY₂O₃(a=10.60Å)の超格子をSi(111)基板上にMBE成長し、Er₂O₃層の膜厚が小さいほどErからの波長1.5μmの発光強度が増加することを報告した。今回は、Si(111)上にMBE成長したEr₂O₃/Y₂O₃超格子を斜入射X線回折で詳細に評価した結果について報告する。