[8a-A504-1~13] 6.1 Ferroelectric thin films

[8a-A504-5] Multi-domain Structures and Relaxation of In-plane Strain in Epitaxial PZT Films

〇(M2)Tomoya Sato¹, Daichi Ichinose¹, Takanori Mimura¹, Takao Shimizu¹, Tomoaki Yamada², Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech., 2.Nagoya Univ.)

Keywords:PZT, domain structure, in-plane strain

PZT膜の引張歪側におけるドメイン構造と面内歪の緩和についての解析を行った。(200)面における面内のXRD回折図形より、常誘電体相から強誘電体相の相転移する際に最初に形成されるKTaO₃[100]からα傾いたa1/a2ドメインと、更に低温で応力緩和のため新たに形成されたcドメインとそれに付随したaドメインが観測された。またこのaドメインはa1/a2ドメインよりも緩和されていることが示された。