[8a-C11-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[8a-C11-1] 分光エリプソメトリーによるβ-FeSi₂エピタキシャル膜の組成評価

〇村社 尚紀¹、星田 裕文¹、飯沼 元輝¹、江口 元¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：ベータ鉄シリサイド、エリプソメトリー、組成評価