10:00 AM - 10:15 AM
[8a-C18-5] Characterization of Hysteresis on Super Steep SS PN-Body Tied FET
Keywords:Characterization of Hysteresis, semiconductor
これまでに、我々はSOIをベースにしたFETに着目し理論下限を下回るSSを持つ新構造PN-Body Tied(PNBT)構造を報告した。今回は、スイッチングデバイスにとって非常に重要な問題であるヒステリシス特性に関して実測を行った。実測結果より、ヒステリシス窓が従来のFloating Body(FB)とBody Tied(BT)と新構造PNBTで最も小さくなる構造はPNBTであることを確認した。