2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[8a-C19-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2017年9月8日(金) 09:30 〜 11:45 C19 (C19)

澤野 憲太郎(都市大)

09:30 〜 09:45

[8a-C19-1] 膜厚変調型Sb誘起層交換法によるn型Ge/絶縁膜の低温成長

高 洪ミョウ1、青木 陸太1、宮尾 正信1、佐道 泰造1 (1.九大システム情報)

キーワード:半導体、ゲルマニウム