[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-13] CH₃CN-N₂-Ar混合気体高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CN_x:H薄膜の作製と構造解析

〇飯澤 仁規¹、斎藤 秀俊¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：窒化炭素、高周波プラズマCVD、RFプラズマCVD