[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-16] 二元同時スパッタを用いたSi含有DLC膜の成膜

〇(M1)三輪 侑生¹、太田 貴之¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン、スパッタリング

シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン（Si-DLC）膜は、従来のDLC膜より低い摩擦係数を示し、自動車エンジンなどの低摩擦コーティング材として注目されている。本研究では、カーボン及びシリコンターゲットによる二元同時スパッタリング法を用いて、Si-DLC膜を成膜した。シリコンターゲットへの印加電力を変化させることによって、Si含有量のみならずDLC膜の構造も変化した。