[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-8] パルスレーザー堆積法を用いたAl添加アモルファスカーボン薄膜の作製及び評価

〇池田 航也¹、村田 悠馬¹、小野 洋¹、田中 勝己¹ (1.電通大基盤理工)

キーワード：アモルファスカーボン、アルミニウム添加