[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-5] 高周波マグネトロンスパッタで成膜したMoSi₂-Si複合体薄膜の
電気的特性と結晶構造

〇谷本 峻吾¹、下薗 宏祐¹、佐藤 祐喜¹、大鉢 忠¹、吉門 進三¹ (1.同志社大院理工)

キーワード：2珪化モリブデン