[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-7] 塗布光照射法による抵抗体膜の作製と評価

〇鵜澤 裕子¹、山口 巖¹、中島 智彦¹、鈴木 宗泰¹、土屋 哲男¹ (1.産総研)

キーワード：塗布光照射法、抵抗体

SiCパワーモジュールの動作温度は250℃が最適であるため、従来の受動部品は使うことができない。このため、受動部品の高耐熱化が必要、不可欠である。本講演ではガラスを含まない抵抗体粒子と金属有機化合物からなるハイブリッド溶液を用いた抵抗体膜の作製方法(熱処理及び紫外処理効果)や電気特性(抵抗、抵抗温度計数)について報告する。