[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-16] Ga_2-xSn_xO膜のミストCVD成長

〇(M1)力武 健一郎¹、小林 拓也¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹ (1.工学院大学)

キーワード：結晶成長、酸化ガリウム、ミストCVD