[8a-PA4-1~31] Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"（Poster）

△ [8a-PA4-4] Electrical characterization of sprayed and evaporation dried ZnO nanoparticle layers

〇(M2)Shou Kasui¹, Toshiyuki Yoshida¹, Yasuhisa Fujita¹ (1.Shimane Univ.)

Keywords:zinc oxide nano particle layer, spraying, evaporation drying

当研究室では， n型およびp型ZnO ナノ粒子を作製し，一般的なエアブラシを用いたスプレー法により粒子層を形成してきた。これらは，ホール測定や試作したTFTの動作モードからn型および p 型の伝導層となることを示してきた。しかし，シート抵抗が非常に高く，試作した TFT 特性も実用化には程遠い結果である。今回，これまで粒子層形成に用いてきたスプレー法及び蒸発乾燥法をについて微視的構造評価も含めて詳細な比較，検討を行った。