[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

△ [8a-PA4-4] スプレー法および蒸発乾燥法により形成された酸化亜鉛ナノ粒子層の電気伝道特性評価

〇(M2)賀須井 渉¹、吉田 俊幸¹、藤田 恭久¹ (1.島根大院総理工)

キーワード：酸化亜鉛ナノ粒子層、スプレー、蒸発乾燥

当研究室では， n型およびp型ZnO ナノ粒子を作製し，一般的なエアブラシを用いたスプレー法により粒子層を形成してきた。これらは，ホール測定や試作したTFTの動作モードからn型および p 型の伝導層となることを示してきた。しかし，シート抵抗が非常に高く，試作した TFT 特性も実用化には程遠い結果である。今回，これまで粒子層形成に用いてきたスプレー法及び蒸発乾燥法をについて微視的構造評価も含めて詳細な比較，検討を行った。