[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-6] 電気化学処理を用いた酸化亜鉛薄膜の低抵抗化

〇秦 弘樹¹、横山 友哉¹、安部 功二¹ (1.名工大工)

キーワード：酸化亜鉛

酸化亜鉛薄膜を水素雰囲気でアニールすると抵抗が下がる事が知られている。しかし、アニール処理はプラスチックなど熱に弱い基板には不向きである。電気化学処理を行うと酸化亜鉛の抵抗が変化する事がわかっている。そこで本研究では、ファンクションジェネレーターを用いて試料への印加電圧の正負を素早く切り替えた際の試料のシート抵抗、透過率の変化を測定した。