[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[8a-PB4-15] マイクロ波励起水素プラズマを用いた硫黄酸化物の水素化脱硫効果

〇荻野 明久¹、杉山 雅浩¹ (1.静大院工)

キーワード：水素プラズマ、水素化脱硫、二硫化モリブデン