[8p-A204-1~10] これからの未来を担う新ワイドギャップ酸化物材料Ga2O3

[8p-A204-1] β- Ga₂O₃単結晶：込めた思いと今後の期待

〇島村 清史¹、ガルシア ビジョラ¹、青木 和夫²、一ノ瀬 昇³ (1.物材機構、2.株式会社光波、3.早大)

キーワード：酸化ガリウム、単結晶、ワイドギャップ半導体

2002年、我々は新しいワイドバンドギャップ半導体材料として酸化ガリウム（β-Ga₂O₃）単結晶を提案し、以来、その実現に向けて努力してきた。ここでは我々の提案が意図したもの、目指したものを、我々が行った開発の歴史と共に紹介したい。