[8p-A204-1~10] これからの未来を担う新ワイドギャップ酸化物材料Ga2O3

[8p-A204-10] 酸化ガリウム/結晶セレン フォトダイオードにおける酸化ガリウムの配向性向上による結晶セレン光電変換膜への効果

〇峰尾 圭忠¹、為村 成亨¹、宮川 和典¹、難波 正和¹、大竹 浩¹、久保田 節¹ (1.NHK技研)

キーワード：酸化ガリウム、セレン、イメージセンサー

高感度なイメージセンサーに向けて、酸化ガリウム/結晶セレン PN接合フォトダイオードの研究をしている。今回、暗電流低減、低駆動電圧化に向け、酸化ガリウムの結晶化に取り組んだ。非晶質酸化ガリウムにアニール処理を施すことによって結晶酸化ガリウムを得て、その上に結晶セレンを積層すると、非晶質酸化ガリウム上に積層した場合と比べ、結晶セレンの結晶配向性を改善することができたので報告する。