2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » これからの未来を担う新ワイドギャップ酸化物材料Ga2O3

[8p-A204-1~10] これからの未来を担う新ワイドギャップ酸化物材料Ga2O3

2017年9月8日(金) 12:45 〜 17:00 A204 (204)

川原村 敏幸(高知工科大)、阿部 友紀(鳥取大)

15:30 〜 16:00

[8p-A204-7] コランダム構造α-Ga2O3のデバイス化への展望

藤田 静雄1 (1.京大院工)

キーワード:酸化ガリウム、酸化物半導体、ミストCVD

α-Ga2O3の特徴、これまでの研究成果をふまえ、今後デバイス化に向けた展望を述べる。この材料の研究を積極的に行っておられる各機関からデータ等の協力をいただき、最近の成果を取りまとめて報告する。