[8p-A301-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [8p-A301-3] r面加工サファイアを用いた無極性a面GaNの高品質化

〇大槻 隼也¹、神野 大樹^1,2、大長 久芳²、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,3 (1.名城大理工、2.小糸製作所、3.名大赤﨑記念研究センター)

キーワード：a面GaN、加工サファイア