[8p-A402-1~12] 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野

[8p-A402-4] 長尺高周波非平衡プラズマジェットの開発

〇内田 儀一郎¹、伊藤 泰喜¹、竹中 弘祐¹、節原 裕一¹ (1.阪大接合研)

キーワード：大気圧非平衡プラズマジェット

本研究では，MHzオーダーの高周波電圧で駆動する高密度大気圧低温プラズマジェットの開発を行っている．今回，電極構造を工夫することにより40 mm程度まで伸縮自在の高周波プラズマジェットの生成に成功したのでその詳細について報告する．内径 4 mm ，外径6 mmの石英管の外周に 2 枚の銅電極を 5 mm 間隔で設置し，幅15 mmの片方の電極に高周波電圧を印加することで放電を生成した．放電ガスとしてArガスを石英管内に供給した．印加電圧の増大とともにプラズマジェット長は増大するが，接地電極幅が2 mmと狭い場合，プラズマジェット長は特に大きく増大した．本研究において，プラズマジェットの長尺化には，高周波印加電極と接地電極の比が重要であることが明らかになった．