[8p-A504-1~13] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [8p-A504-10] Characteristics of PZT ultra-thin MEMS mirror device mounted on flexible substrate

〇Toshihiro Takeshita¹, Takahiro Yamashita¹, Natsumi Makimoto¹, Takeshi Kobayashi¹ (1.AIST)

Keywords:MEMS, FHE, PZT

我々は極薄MEMSミラーデバイスの作製を行った。デバイスの厚さは5.31µmであり、フレキシブル性を有する。デバイスはPZTアクチュエータによって駆動される。ポリイミド基板に極薄MEMSミラーデバイスを実装し、動作確認を行った。ポリイミドの基板が曲がった状態(曲率半径R=125mm)においても、極薄MEMSミラーデバイスは壊れることなく、動作した。この技術は、IoTデバイス開発において、非常に期待の高い技術である。