[8p-A504-1~13] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [8p-A504-9] Tactile Device Fabrication Based on Piezoelectric MEMS

〇So Toyama¹, Kensuke Kanda¹, Takashi Okubo¹, Kosuke Takahara¹, Takayuki Fujita¹, Kazusuke Maenaka¹ (1.University of Hyogo)

Keywords:piezoelectric MEMS, Pb(Zr, Ti)O3 thin film, tactile device

我々は樹脂材料であるSU-8とPZT薄膜の積層構造の作製に成功しており、触覚デバイスへの応用可能性を示している。こうした樹脂とPZT薄膜の積層構造では、基板拘束の開放により優れた強誘電特性が得られることが報告されているが、我々の先行研究ではそのような強誘電特性の向上はわずかであった。本研究では基板拘束の影響について複数の基板の組み合わせにて評価を行い、触覚デバイスへの応用検討を行ったので報告する。