[8p-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8p-A504-10] フレキシブル基板上に実装されたPZT極薄MEMSミラーデバイスの特性

〇竹下 俊弘¹、山下 崇博¹、牧本 なつみ¹、小林 健¹ (1.産総研)

キーワード：MEMS、フレキシブルブリッドエレクトロニクス、PZT

我々は極薄MEMSミラーデバイスの作製を行った。デバイスの厚さは5.31µmであり、フレキシブル性を有する。デバイスはPZTアクチュエータによって駆動される。ポリイミド基板に極薄MEMSミラーデバイスを実装し、動作確認を行った。ポリイミドの基板が曲がった状態(曲率半径R=125mm)においても、極薄MEMSミラーデバイスは壊れることなく、動作した。この技術は、IoTデバイス開発において、非常に期待の高い技術である。