[8p-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8p-A504-9] 圧電MEMSによる触覚デバイス試作

〇遠山 蒼¹、神田 健介¹、大久保 昂¹、髙原 光將¹、藤田 孝之¹、前中 一介¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：圧電MEMS、Pb(Zr,Ti)O3薄膜、触覚デバイス

我々は樹脂材料であるSU-8とPZT薄膜の積層構造の作製に成功しており、触覚デバイスへの応用可能性を示している。こうした樹脂とPZT薄膜の積層構造では、基板拘束の開放により優れた強誘電特性が得られることが報告されているが、我々の先行研究ではそのような強誘電特性の向上はわずかであった。本研究では基板拘束の影響について複数の基板の組み合わせにて評価を行い、触覚デバイスへの応用検討を行ったので報告する。