[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[8p-PA2-13] 金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討

〇山根 大輔^1,3、小西 敏文^1,2,3、佐布 晃昭²、橘 航一朗^1,3、寺西 美波^1,3、陳 君怡^1,3、Chang Tso-Fu Mark^1,3、曽根 正人^1,3、町田 克之^1,3、益 一哉^1,3 (1.東工大、2.NTT-AT、3.JST-CREST)

キーワード：MEMS加速度センサ、金めっき、長期振動