[8p-PA2-1~19] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

[8p-PA2-17] Investigation of Embedded Magnetic-tag for Individual Identification

〇Daisuke Matsumura¹, Yoko Yamanishi¹, Takashi Ogawara², Yoshikazu Haramoto³ (1.Kyushu Univ, 2.Boyle, 3.AIST)

Keywords:MEMS

生体に対して低侵襲に導入でき、安価かつウェットな環境下でも長時間情報を保持できる個体識別用微細タグの開発を目標とした。本研究では磁性体を用いた磁気タグのプロトタイプを作製し、タグに着磁し、その磁束密度の計測を行った。