09:15 〜 09:30 [15a-502-2] 直流マグネトロンスパッタ法による多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜における配向秩序制御 〇(PC)野本 淳一1、北見 尚久1,2、渡辺 剛3、牧野 久雄1、酒見 俊之2、山本 哲也1 (1.高知工科大総研、2.住友重機械工業株式会社、3.高輝度光科学研究センター)